Project of Ceramic Pressure Transducer with Thick Film

Authors

  • Osvaldo Correa TSA do Brasil Ltda
  • José Martins de Oliveira Jr. Universidade de Sorocaba
  • Waldemar Bonventi Jr. Universidade de Sorocaba
  • Norberto Aranha Universidade de Sorocaba

Keywords:

pressure sensor, think film, alumina substrate

Abstract

The aim of this work was to develop a pressure
transducer using conductive silver-palladium paste (AgPd), providing a cost reduction in the final product. It was developed a pressure sensor on alumina substrate with conductive tracks of
silver-palladium (AgPd) and ruthenium oxide (RuO2) as sensor elements and piezo resistors, using thick film technology. The AgPd paste sensor withstood over 10 million cycles at 1Hz without any damage. The developed transducer presented linear response
in all working pressure range, even under different temperatures. The results obtained in this project using thick film are interesting for small industries due the low cost of the final product compare
with thin films technique.

Author Biographies

Osvaldo Correa, TSA do Brasil Ltda

graduado em Física pela Uniso
(2014) e mestre em Processos Tecnológicos e
Ambientais (2016) pela Uniso. Atua a 40 anos nas
áreas de eletrônica, instrumentação e, nos últimos 7
anos vem se dedicando ao desenvolvimento de
sensores e circuito integrados híbridos com
tecnologia de filme espesso. Atualmente ocupa a
função de diretor de P&D da Divisão Microsistemas
da TSA, tecnologia em sistemas automotivos Ltda.

José Martins de Oliveira Jr., Universidade de Sorocaba

Bacharel em Física
pela Universidade Estadual de Londrina (1985),
Mestrado em Física Nuclear pela Universidade de São
Paulo (1988) e Doutorado em Ciências, com ênfase
em Física Nuclear pela Universidade de São Paulo
(1994). No Pós-Doutorado trabalhou no estudo de
propriedades espectroscópicas de núcleos exóticos
(11N e 10N). Atualmente está ocupando o cargo de
Pró-Reitor Acadêmico da Universidade de Sorocaba.
É professor titular dos Programas de Pós-Graduação
em Ciências Farmacêuticas, nível mestrado e
doutorado acadêmico, e do Programa de Pós-Graduação em Processos
Tecnológicos e Ambientais, nível mestrado e doutorado profissional, da
Universidade de Sorocaba – Uniso, vinculado a linha de pesquisa
Processamento e Caracterização de Materiais e Produtos. Tem larga experiência
na área de Física Nuclear Aplicada

Norberto Aranha, Universidade de Sorocaba

graduado em Física (licenciatura
e bacharelado) pela UNICAMP (1985), mestre em
Física pela UNICAMP (1987) e doutor em ciências
perla UNICAMP (1994). Atualmente é professor do
Programa de Pós-Graduação em Processos
Tecnológicos e Ambientais, nível mestrado e
doutorado profissional da Universidade de Sorocaba
– Uniso, vinculado à linha de pesquisa
Processamento e Caracterização de Materiais e
Produtos. Atua na área de ciência dos materiais não-
metálicos e de ensino de física.

Published

2020-11-21
Bookmark and Share